直流磁控濺射儀是一種通過磁場約束電子、增強等離子體密度來有效沉積薄膜的實驗室設備，廣泛應用于材料研究、半導體鍍膜等領域。在真空腔室中通入惰性氣體，施加直流高壓形成電場，使氣體電離產生等離子體。靶材表面設置正交磁場，通過洛倫茲力約束電子運動軌跡，延長其路徑，增加與氣體碰撞概率，從而提高等離子體密度和濺射效率。高能離子轟擊靶材表面，使靶材原子濺射并沉積到基材上形成致密薄膜。此過程需準確控制熱量，避免樣品灼傷。
優點：結構簡單，直流電源系統穩定且成本低，設備維護簡易。對于金屬等良導體靶材，濺射速率高，能滿足工業規?；a需求。其工藝好，參數易于控制，工藝窗口寬泛，量產經驗豐富。
該設備用于制備金屬、半導體、氧化物等薄膜，需定期維護真空系統、電源和靶材，確保工藝穩定性和薄膜質量。
結構組成
真空系統：由真空泵、真空腔體等組成，用于提供真空環境，保證濺射過程在低氣壓下進行。
直流電源系統：為陰極靶材提供恒定的負電壓，引發輝光放電。
氣體供應系統：包括氣體儲存罐、質量流量計等，用于向真空腔內充入適量的工作氣體，如氬氣。
靶材與基片安裝系統：靶材安裝在陰極上，基片固定在陽極附近的樣品臺上，樣品臺通?？杉訜帷⑿D，以提高薄膜的均勻性。
磁場系統：在靶材表面設置正交磁場，用于約束電子的運動軌跡，提高等離子體密度。
應用領域
裝飾鍍膜：用于制備金、銀、鉻等金屬裝飾膜層，如手表殼體、眼鏡框架、汽車飾件等。
工具硬質涂層：可沉積 TiN、CrN 等硬質金屬氮化物薄膜，提升刀具、模具的耐磨性和使用壽命。
微電子互連線：用于制備鋁、銅等金屬薄膜作為集成電路中的互連線，實現電路信號的傳輸。
太陽能電池背電極：可制備鋁、銀等金屬背電極，提升太陽能電池的光電轉換效率。
關注公眾號